电子级

ELECTRONIC GRADE

高纯氧化亚氮气体主要应用于半导体、LCD、OLED制造过程中氧化、化学气相沉积(CVD沉积氮化硅的氮源)等工艺流程中。随着半导体芯片和液晶显示面板、太阳能光伏市场需求的增加,作为重要气体材料的氧化亚氮的用量也将逐年增长。